기체 유량계 PFMB
 기체 유량계 PFMB 제품 설명 기체 유량계 PFMV는 멤브레인 상에 제작된 백금 얇은 막으로 된 히터(Rh)를 중심으로 대칭으로 배치된 상류 측온 센서(Ru)와 하류 측온 센서(Rd) 및 기체의 측온용으로써 주위온도 센서(Ra)로 본 MEMS 센서칩은 구성됩니다. 기체 유량계 PFMV 원리는 오른쪽 그림과 같이 (a)기체가 정지된 상태에서는 Rh를 중심으로 가열된 기체의 온도분포는 균일한 상태가 되고, Ru·Rd 모두 같은 저항 값을 나타냅니다. 또한, (b)기체가 왼쪽에서부터 흐른 경우는 가열된 기체의 온도 분포는 밸런스를 잃게 되고 Ru보다도 Rd의 저항 값 쪽이 커집니다. Ru와 Rd의 저항 값 차는 흐르는 기체의 유속에 비례하므로, 그 저항 값을 측정하여 연산처리 함으로써 기체의 흐름방향과 유속(유량)을 알 수 있습니다. Ra는 기체 온도 또는 주위온도의 보상용으로 이용됩니다.
플로 스위치 정격유량범위  플로 스위치 제품구성／기본성능 일람  PFMB7 Series 디지털 플로 스위치  형식표시방법  제품 사양  유체접촉부 구조도   |
