기체 유량계 PFM 2색 표시식
검출 원리 기체 유량계 PFM 멤브레인 상에 제작된 백금의 얇은 막으로 된 히터(Rh)를 중심으로 대칭으로 배치된 상류 측온 센서(Ru) 및 하류 측온 센서(Rd) 및 기체의 온도 측온용으로써 주위온도 센서(Ra)로 본 MEMS 센서 칩은 구성됩니다. 원리는 오른쪽 그림과 같이 (a)기체가 정지된 상태에서는 Rh를 중심으로 가열된 기체의 온도분포는 균일한 상태가 되고, Ru·Rd 모두 같은 저항 값을 나타냅니다. 또한, (b)기체가 왼쪽에서부터 흐른 경우는 뜨거워진 기체의 온도 분포는 밸런스를 잃게 되고 Ru보다도 Rd의 저항 값 쪽이 커집니다. Ru와 Rd의 저항 값 차는 흐르는 기체의 유속에 비례하므로, 그 저항 값을 측정하여 연산처리 함으로써 기체의 흐름방향과 유속을 알 수 있습니다. Ra는 기체 온도 또는 주위온도의 보상용으로 이용됩니다.
제품 특징 ■ 유량범위 : 10, 25, 50,100L/min. ■ 설정최소단위 : 0.01L/min. (유량범위 25, 50, 100L/min의 경우는 0.1L/min) ■ 반복정도 : ±1%F.S. ■ 그리스 무도포 ■ 유량조정 밸브 일체화(배관절약, 공간절약) ■ 응답시간 : 50msec·0.5sec· 1sec·2sec에서 선택 가능 제품 형식표시방법
제품 사양
PFM5
제품 사양
유체접촉부 구조도
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